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日本EHC VD-400減壓室

產(chǎn)品時間:2024-03-28
日本EHC VD-400減壓室
一個減壓的干燥系統(tǒng),帶有觸摸面板控制的配方操作。
VD-400是一個減壓室,用于在抗蝕劑應(yīng)用后對玻璃基材進(jìn)行涂層。
該設(shè)備用于減壓干燥。

日本EHC VD-400減壓室

一個減壓的干燥系統(tǒng),帶有觸摸面板控制的配方操作。

VD-400是一個減壓室,用于在抗蝕劑應(yīng)用后對玻璃基材進(jìn)行涂層。

該設(shè)備用于減壓干燥。

VD-400減壓室特點(diǎn)。

通過觸摸面板控制簡化操作。

可進(jìn)行配方操作(允許復(fù)制操作程序)。

兩級排風(fēng)減少了風(fēng)的波紋和氣泡。

蝶形閥的使用使真空排氣量得以設(shè)定。

日本EHC VD-400減壓室

主要規(guī)格。

外部尺寸400毫米×400毫米,高度103毫米(蓋子關(guān)閉時)。

        內(nèi)部尺寸350毫米x350毫米,高度30毫米

○ 真空:可實(shí)現(xiàn)的真空度約為1Pa或更低(無負(fù)載時)。

規(guī)格。

0室:外部尺寸400mm x 400mm,高度103mm(蓋子關(guān)閉時)。

      內(nèi)部尺寸350毫米x350毫米,高度30毫米

0 真空系統(tǒng):可實(shí)現(xiàn)的真空度:1帕或更低(不含樣品)

     干式泵250升/分鐘

達(dá)到設(shè)定壓力時,自動釋放到大氣中。

      時間模式 在設(shè)定的減壓時間后自動釋放大氣。

0 實(shí)用:3Φ AC200:干燥空氣 0.4-0.6 MPa:真空抽氣

z 外部尺寸:(寬)1000 x(長)800 mm x(高)1600 mm

0 設(shè)備重量:約250公斤




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